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晶圓等離子刻蝕系統(tǒng)

在線式真空等離子清洗機

通用介質薄膜

發(fā)表時間：2022-07-27 15:03

在集成電路制造過程中使用的SiO2、SiN、SiON 等介質薄膜

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