射頻、射頻系統(tǒng)發(fā)表時(shí)間：2022-07-27 15:01 PECVD 設(shè)備的反應(yīng)腔體中的一個(gè)關(guān)鍵部件，通過提供穩(wěn)定的射頻輸出源、快速的匹配系統(tǒng)及低損耗的射頻回路來激發(fā)工藝氣體成為高活性、高能量的等離子體 |
射頻、射頻系統(tǒng)發(fā)表時(shí)間：2022-07-27 15:01 PECVD 設(shè)備的反應(yīng)腔體中的一個(gè)關(guān)鍵部件，通過提供穩(wěn)定的射頻輸出源、快速的匹配系統(tǒng)及低損耗的射頻回路來激發(fā)工藝氣體成為高活性、高能量的等離子體 |