泛指在集成電路生產(chǎn)工藝可達(dá)到的最小柵極寬度,尺寸越小,表明工藝水平越高,意味著在同樣面積的晶圓上,可以制造出更多的芯片,或者同樣晶體管規(guī)模的芯片會占用更小的空間,主要節(jié)點如90nm、65nm、40nm、28nm、14nm、7nm、5nm、3nm、2nm 等